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会员动态 徐州博康信息化学品有限公司年产1406吨光刻材料及152吨光刻胶技改项目备案
徐州博康信息化学品有限公司年产1406吨光刻材料及152吨光刻胶技改项目备案
  发布日期:2024-09-23

9月14日,据采招网信息,徐州博康信息化学品有限公司年产1406吨光刻材料及152吨光刻胶技改项目备案。

徐州博康信息化学品有限公司成立于2010年,主营中高端光刻胶及相关原材料产研销。公司目前在江苏邳州、浙江东阳有两个生产基地,其中邳州基地于2021年上半年完成建设已正式投产,具备1100吨光刻材料及10000吨电子级溶剂产能。

产品方面,徐州博康已成功开发ArF/KrF单体及光刻胶、I线光刻胶、封装光刻胶、电子束光刻胶等系列产品。

ArF产品方面,公司具备干法ArF及湿法ArF光刻胶的技术能力。干法ArF可应用于90nm/65nm/55nm节点。湿法ArF可应用于40nm/28nm节点,14nm及以下工艺正在研发中。公司目前形成销售的 Arf 光刻胶有 7 款,其中 1 款 ArF 产品在 12 寸 fab 厂批量供应,是同类型国产光刻胶企业中ArF光刻胶商业化进程最快的企业。

KrF产品方面,在研和配方定型光刻胶有 34 款产品,其中,高分辨的 KrF 光刻胶,最小分辨率可达 120nmCD,产品可应用于 14nm-180nm 制程中。公司目前有20余款KrF光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产,形成销售的有16款,其中2款在国内大厂批量供应。

作为国内少有能打通光刻胶上游材料的全产业链公司,徐州博康的聚合与提纯工艺也是其核心竞争力之一。目前:(1)光刻胶单体已经研发近 80 余款,2022 年以来新开发 30 余款单体。(2)光刻胶树脂已经研发 50 多款。(3)光敏剂已经研发超过 150 款。

此前在2023年12月,徐州博康与华懋科技签订了股权转让协议,收购了其持有的东阳华芯51%的股权。徐州博康通过控股东阳华芯,使得徐州博康产品线更加完善。2022年7月,东阳华芯建设“年产8000吨光刻材料新建项目”事项,项目规划年产8000吨光刻材料,主要包括ArF光刻胶系列(包含单体和树脂合成)、KrF光刻胶系列(包含单体和树脂合成)等。

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