2023年1月11日,南京大学王欣然教授、施毅教授带领国际合作团队在全球顶级科研期刊《Nature》上以“Approaching the quantum limit in two-dimensional semiconductor contacts”为题发表研究成果,这是南京大学新年首篇《Nature》。
该科研团队通过增强半金属与二维半导体界面的轨道杂化,将单层二维半导体MoS2的接触电阻降低至42Ω·μm,超越了以化学键结合的硅基晶体管接触电阻,并接近理论量子极限,该成果解决了二维半导体应用于高性能集成电路的关键瓶颈之一。
该工作由南京大学、东南大学、南京工业大学、湖南大学和美国斯坦福大学共同完成。南京大学王欣然教授、施毅教授和东南大学王金兰教授为论文共同通讯作者。该研究得到了国家自然科学基金、国家重点研发计划、江苏省前沿引领技术基础研究专项等资助,以及南京大学微制造与集成工艺中心的大力支持。
近年来,王欣然教授课题组聚焦二维半导体材料与器件技术,在大面积单晶材料生长(Nature Nanotech., 16, 1201 (2021); Nature, 605, 69 (2022))、超薄介质集成(Nature Electron., 2, 563 (2019))、三维异质集成(Nature Nanotech., 16, 1231 (2021))等方向取得多项重要进展,2022年荣获第四届“科学探索奖”,并获批国家自然科学基金创新研究群体项目。
论文链接:https://www.nature.com/articles/s41586-022-05431-4
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